更新情報
- 4インチノンドープ≦1,000Ωcm、12インチ低パーティクル65nm≦50の在庫販売を開始しました※2023.12
- 8インチダミーウェハーの在庫数を増やしました※2023.12～
- 12インチ低パーティクル90nm≦50の在庫販売を開始しました※2022.2～
- 6インチ≧500μm、8インチ≧600μm、≧680μmのミラーウェハー在庫販売を開始しました※2021.1～
- 特殊ウェハー(FZ 30x30mm、t＝10mm、200x40mm、t＝40mm等)の対応も小lotから可能です ※2020.1～
- 4インチ525±25μmコインロール品の入荷が再開となりました※2019.10～
- シリコンウェハートレイ(ザグリ加工治具)製作が可能となりました※2017.10～
- パーティクル測定用シリコンウェハーの洗浄受託(クラス1000レベル)が対応可能となりました※2017.4～
- 1,000～2,000μmレーザーマーク刻印品(ハードorソフト)が可能となりました※2015.11～
- 2～8インチ低抵抗(≦0.001Ωcm)、高抵抗ウェハー(ノンドープ≧1,000Ωcm、≧10,000Ωcm)の新規製造が25枚lot～可能となりました。※2015.6～
- 8、12インチプライムウェハーおよび18インチ(450mmウェハー)の新規製造が可能となりました※2014.5～
2～12インチのミラーウェハー、ダミーウェハー・モニターウェハーを各種幅広く在庫しており用途に合わせて少量から販売致します。インゴットを保有しており厚物(1,000μm～)、薄物(100μm～)、両面ミラー、面方位110、低抵抗(0.001Ωcm～)、高抵抗(ノンドープ≧1,000Ωcm～)等の特殊加工品も承っております。在庫品は営業日午前中にご注文を頂ければ「当日出荷」も可能です。
- ミラーウェハー・・・ダイシングブレードのプリカット条件出し用、BG加工の条件出し用、装置動作のテスト用など
- ダミーウエハー、モニターウェハー・・・装置動作のテスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
主な納入実績
デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関
※シリコンウエハーのBG・ダイシング加工、受託成膜も対応致します。
ミラーウェハー標準在庫品仕様
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| 厚さ | μm | 280±25 | 380±25 | 525±25 | 625±25 | 450±25 ≧500 625±25 |
≧600 725±25 |
775±25 |
| 面状態 |
|
片面ミラー | 両面ミラー | |||||
| オリフラ | オリフラ | オリフラorVノッチ | Vノッチ | |||||
| タイプ | 不問 | |||||||
| 面方位 | 不問 | |||||||
| 抵抗値 | Ωcm | 不問 | ||||||
| パーティクル | 不問 | |||||||
| 枚数 | lot | 3枚～ ※2インチ、3インチは25枚 | ||||||
| 梱包 | コインロール（袋詰め重ね合わせ）、ケース梱包指定可 | |||||||
| 備考 |
用途によって評価用無償サンプルの対応も致します。 |
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ダミーウェハー（モニターウェハー）標準在庫品仕様
| 項目 | Unit | 仕様 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| サイズ | inch | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
| 厚さ | μm | 280±25 | 380±25 | 525±25 | 625±25 | 625±25 | 725±25 | 750±50 775±25 |
| 面状態 |
|
片面ミラー | 両面ミラー | |||||
| オリフラ | オリフラ | オリフラorVノッチ | Vノッチ | |||||
| 導電型 | P or N | |||||||
| 面方位 | <100> ※<111>インチによって在庫有 | |||||||
| 抵抗値 | Ωcm | 1～100 ※≧1,000Ωcmインチによって在庫有 | ||||||
| パーティクル | 0.3μm≦10、0.3μm≦20、0.2μm≦30、0.2μm≦50 | |||||||
| 枚数 | lot | 25枚(※端数あり) | ||||||
| 備考 | 1、標準品4,6,8インチは安価品、2,4,6,8,12インチは端数在庫(パーティクル不問)があります | |||||||
| 2、2～6インチはインゴットから加工した両面ミラー、面方位110、低抵抗(≦0.001Ωcm、0.001Ωcm～、0.01Ωcm～)、ノンドープ高抵抗(≧1,000Ωcm、 ≧5,000Ωcm、 ≧10,000Ωcm～)など端数在庫が多数ありますので少量から販売致します | ||||||||
特注品
| 項目 | Unit | 仕様 |
|---|---|---|
| サイズ | inch | 2～8 |
| 製法 | CZ or FZ(ノンドープ) | |
| 厚さ | μm | 150～3,000 |
| 面状態 | 片面ミラー、両面ミラー、両面エッチング | |
| 面方位 | <100>、<111>、<110> | |
| 抵抗値 | Ωcm | ≦0.001、0.001～、0.01～、1～、100～、ノンドープ(≧1,000、≧5,000 ≧10,000) |
| 枚数 | lot | 25枚 |
| その他 | TTV/BOW/WARP 指定可 |
特注品製作の一例
- 8インチシリコンウェハーザグリ治具
- 2インチ φ20mm、 □20mm角穴あけ加工品
- 2インチ FZ、500±20μm、片面ミラー、ノンドープ、面方位100、抵抗値≧1,000Ωcm、熱酸化膜30,000Å
- 2インチ 430±20μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値0.05～0.5Ωcm
- 3インチ 1,000±20μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値≦0.001Ωcm
- 3インチ 300±20μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.5～1.5Ωcm
- 3インチ 775±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値1～100Ωcm
- 3インチ FZ、380±20μm、両面ミラー、面方位100、ノンドープ≧5,000Ωcm
- 4インチ FZ、600±20μm、片面ミラー、面方位100、ノンドープ≧10,000Ωcm
- 4インチ 525±20μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.0007～0.001Ωcm
- 4インチ 150±10μm、両面ミラー、N型、面方位110、抵抗値≧1Ωcm
- 4インチ 400±20μm、片面ミラー、N型、面方位100、抵抗値≦0.001Ωcm
- 4インチ 525±25μm、片面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.001～0.002Ωcm
- 4インチ 300±25μm 、両面ミラー、N型、面方位100、抵抗値90～130Ωcm
- 4インチ 500±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値≧1Ωcm、熱酸化膜20,000Å
- 4インチ 525±25μm、片面ミラー、反り≦20μm、TTV≦5μm
- 4インチ FZ、500±20μm、両面ミラー、面方位110、ノンドープ≧1,000Ωcm、熱酸化膜1,000Å
- 6インチ 1,000±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、抵抗値0.01～0.02Ωcm、熱酸化膜10,000Å
- 6インチ 625±25μm、片面ミラー、P型、面方位110、抵抗値0.005～0.01Ωcm
- 6インチ 675±20μm、片面ミラー、Vノッチ、P型、面方位100、抵抗値≧1Ωcm
- 6インチ 625±25μm、片面ミラー、オリフラ(方位100、2nd付)、P型、面方位111、抵抗値1～10Ωcm
- 6インチ FZ、625±25μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値60～70Ωcm
- 8インチ 725±25μm、片面ミラー、N型、面方位100、抵抗値0.001～0.005Ωcm
- 8インチ 725±25μm、片面ミラー、N型、面方位111、抵抗値≧1Ωcm
- 8インチ 725±20μm、両面ミラー、N型、面方位100、抵抗値8～12Ωcm
- 8インチ 1,200±25μm、両面ミラー、オリフラ、P型、面方位100、抵抗値100～200Ωcm
- 12インチ 775±25μm、両面ミラー、P型、面方位100、TTV≦1μm、抵抗値1～100Ωcm 枚葉データ付
- 12インチ 1-φ0.2mm穴あけ加工
- 30x30mm、FZ、t＝10mm
- 200x40mm、FZ、t＝40mm
- レーザーマーク刻印品（ハードorソフト）対応