更新情報
- ダイシングUV照射装置用ブラックライトFL15BLB(東芝・NEC)の在庫があります。一部他社製高圧水銀ランプ・メタルハライドランプの在庫もしております。※2022.3～
ダイシング加工済みのシリコンウェハー、各種基板などをUVにより粘着力を硬化させる 「UV照射装置」、テープ貼り合わせ用の「テープマウンター」、加工済みチップを均一に拡張する「テープエキスパンダー」・「グリップリング」を販売しております。各装置デモ機の対応及び装置に対応したUVテープの販売もしております。ニーズに合わせたカスタマイズ対応(インターロック等)も可能です。
主な納入実績
デバイス、アッセンブリー、ガラス加工各メーカー、テープメーカー、材料メーカー、行政機関、大学研究室
ダイシングテープ剝離用UV照射装置
シリコンウェハー、ガラス、各種基板に貼り合わせたダイシングテープ(※バックグラインドテープも可)をUV照射し粘着力を低下させるマニュアルタイプのUV照射装置となります。主波長350～360nmのブラックライトランプを採用しランニングコストを抑え窒素パージ機能によりワークをムラなく照射します。
※UVダイシングテープとセットでのデモ対応も可能です。
特徴
- ブラックライト(蛍光灯）採用
- 簡単操作
- 軽量コンパクト
- 窒素用圧力計、計量計装備
- ダイシングフレーム5,6,8,12インチ対応。6,8インチは兼用、角型も対応可
- インターロック機能
- 排熱・排気不要
- 容易なランプ交換
- 低ランニングコスト
仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワークサイズ | ダイシングフレーム5、6、8、12インチ各種UVテープ |
| 対象ワーク | シリコン、ガラス、各種基板 |
| UVランプ | ブラックライト(蛍光灯） |
| 主波長 | 350～360nm付近 |
| ワークステージ | 窒素チャンバー付 |
| ワーク位置決め | ザクリに落とし込み |
| 照射時間 | 任意設定 |
| 冷却 | なし |
| 窒素 | 標準設備(任意導入) |
| 装置寸法 | 430(W)x540(D)X240(H)mm ※6・8インチ 660(W)x540(D)X240(H)mm ※12インチ |
| 装置重量 | 20kg ※6,8インチ 30Kg ※12インチ |
ユーティリティ
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 窒素 | 0.2MPa以上 10l/分以下 Φ6ミリ継手 |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ |
| 備考 | 1、6,8インチはデモ機貸出対応を承っております |
| 2、バックグラインドテープ用はお問い合わせください |
テープマウンター(マニュアル・セミオート)
シリコンウェハー、ガラス、各種基板をダイシングテープ(バックグラインドテープも可)を気泡が入らずムラなく貼り合わせる装置となります。マニュアル・セミオートタイプがあります。
(1)マニュアルタイプ
特徴
- マニュアル式
- 高温での貼付に対応
- 「貼付ミス」のない貼付方式
- PETテープに対応
- ウェハー外周の円カット方式
- 貼付ローラーに圧力可変機構
- 吸着固定の確認用に真空計を標準装備
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワークサイズ | ダイシングフレーム5、6、8、12インチ 各種ロールテープ |
| 対象ワーク | シリコン、ガラス、各種基板(t＝0.4～3mm） |
| ワークステージ | テフロンコート全面接触型 真空吸着式 |
| ワーク位置決め | ケガキ線による目視合わせ方式 |
| ワークステージ | 常温～60℃ |
| 貼付ローラー | ウレタンゴム |
| 貼付圧力 | 圧力可変、最大10kg／ローラー |
| 円カッター | ウェハー外周のテープカット |
| 直線カッター | ロール側との切り離し |
| テープセパレーター | 自動巻取り機構 |
| 装置寸法 | 480(W)x750(D)X410(H)mm ※6インチ 650(W)x810(D)X410(H)mm ※8インチ |
| 装置重量 | 20kg ※5,6インチ 30Kg ※8インチ |
ユーティリティ
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 真空又はドライエラー | -60kPa以下 Φ6クイック継手 |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 5A 3Pプラグ |
| 備考 | 1、6インチはデモ機貸出対応を承っております |
| 2、アダプター切り替えによるフレーム兼用(6/8,8/12タイプ)も可能です |
セミオートタイプ
-
プリカットテープタイプ
(2)セミオートタイプ
特徴
- セミオート方式
- 貼付圧力・貼付速度・ステージ温度の数値設定＆モニター
- 真空・エアー圧力の数値モニター
- ウェハー単体で12インチ対応
- ダイシングフレームで6、8、12インチ対応
- PETを含む各種テープ対応
- コンパクト、卓上型
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワークサイズ | ダイシングフレーム6、8、12インチ 各種ロールテープ |
| 対象ワーク | シリコン、ガラス、各種基板 |
| ワークステージ | テフロンコート全面接触型 真空吸着式 |
| ワーク位置決め | 目視合わせ方式 |
| ワークステージ温度 | 常温～60℃ |
| 貼付圧力 | 圧力可変、最大12kg／ローラー |
| 円カッター | ウェハー外周のテープカット |
| 直線カッター | ロール側との切り離し |
| テープセパレーター | 自動巻取り機構 |
| 装置寸法 | 850(W)x500(D)X417(H)mm ※5,6,8インチ 1,000(W)x650(D)X470(H)mm ※12インチ |
| 装置重量 | 50Kg ※6、8インチ 70Kg ※12インチ |
| 備考 | 1、DAFテープ貼付対応への改造が可能です |
| 2、プリカットテープタイプ(8、12インチ)もあります |
テープエキスパンダー(マニュアル)・グリップリング
-
テープエキスパンダー
-
グリップリング
シリコンウェハー、ガラス、各種基板をダイシング・ブレーキングした後にチップを均一に拡張する装置となりグリップリングにより保持します。
特徴
- マニュアル方式
- 圧力計装備
- 安全カバー(インターロック機能付)
- 各種ダイシングテープ、各サイズ(4,5,6,8)のグリップリングに対応
- コンパクト、卓上型
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ワークサイズ | ダイシングフレーム6、8インチ |
| 対象ワーク | シリコン、ガラス、各種基板 |
| ステージ駆動 | エアシリンダー |
| ステージ上昇温度 | 無段階調節 |
| ワークステージ温度 | 常温～60℃ (※過昇温防止機能可) |
| ワーク位置決め | 任意設定 |
| 拡張リング |
グリップリング 【Aタイプ】 【Bタイプ】 |
| グリップリングケース 248x248x21(H)mm |
|
| 装置寸法 | 330(W)x420(D)x360(H)mm ※6インチ 400(W)x510(D)x380(H)mm ※8インチ |
| 装置重量 | 15Kg ※6インチ 25Kg ※8インチ |
| 備考 | 1、6インチはデモ機貸出対応を承っております |
| 2、グリップリングのみの販売(10個lot～)も致します |