洗浄ウェハーケース・ウェハーキャリア・チップトレイ

洗浄ウェハーケース・ウェハーキャリア・チップトレイ

更新情報

  • 12インチプロトスキャリアに収納可能な非接触PPリングの販売を開始しました※2023.5~
  • 12インチ中古洗浄済み(FOSB)品のパレット(1パレット40個)在庫を開始しました※2023.3~
  • 2、4インチ枚葉(材質PP)、3インチ縦置き(材質PP)の在庫を開始しました※2022.4~
  • 6、8インチ枚葉品(材質PC)の在庫を開始しました※2022.3~
  • 6、8、12インチウェハーキャリア(材質PP、PEEK、PFA)13枚タイプ、バックサポートタイプの販売を開始しました※2021.4~
  • 6インチ(MW150N)、8インチ(MW200N)洗浄品用通い箱の販売を開始しました※2020.9~
  • 3インチ縦置き25枚用新品ウェハーケース、6,8,12インチ縦置き25枚用中古洗浄済み品が多数あります※2020.3~
  • 角型(76mm角、100mm角、150mm角、200mm角)1枚用も対応可能となりました

洗浄ウェハーケース、ウェハーキャリア

シリコンウェハー、ガラスウェハー、SiC、GaAs他化合物ウェハーの搬送用ケースを在庫販売しており枚葉、縦置き(出荷用・工程用)、平置き(プロトスキャリア)から選択可能です。材質はPP・PCとなり枚葉・縦置きは洗浄対応(クラス100レベル二重梱包)も承っております。

主な納入実績

デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関

1. 枚葉(シングルウェハーシッパー)タイプ

項目 Unit 仕様
サイズ inch 1.5、2、3、4、6、8、12
個数 lot 1個~
     
備考   1. 2、3、4、12インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です
  2. サイズによって材質(PP or PC)が異なります。4インチは多数の中古品があります

2. 縦置き(25枚用ウェハーケース)タイプ

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2、2.5、3、4、5、6、8、12(※12インチはFOSB・FOUP対応可能)
個数 lot 1個~
     
備考   1. 4、5、6、8インチはクラス1000レベルで製造しておりクラス100レベルでの洗浄も可能です
  2. 各サイズ多数の中古品および中古洗浄済み品を在庫しております
  3. 角型ガラス基板(76mm角・100mm角・150mm角)を収納できるタイプもあります
  4. 6インチ t=1mm以上(13枚収納)や4、5インチは標準より薄いウェハーを収納できるタイプもあります

3. ウェハーキャリア(ウェハーカセット)タイプ

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2~12
材質   PP(ESD)、PEI、PEEK、PFA、METAL
個数 lot 2個~(※材質によって異なります)
     
備考   1. 帯電防止、耐熱、耐薬品用から選択が可能です
  2. PEEK、PFA13枚収納、バックサポートタイプもあります

4. 平置き(プロトスキャリア)タイプ

項目 Unit 仕様
品名  

MA-6S、MA-8S、MA-12、ND-6、ND-8、ND-12 

個数 lot 1個~(※ND-6~12は10個~)

5. プロトスキャリア用スペーサーシート

項目 Unit 仕様
品名   CPS-6-250,CPS-8-250,CPS-12-250 ※12インチ非接触対応PPリング有
個数 lot 100枚~

6. プロトスキャリア用クッション材

項目 Unit 仕様
品名   MA-6U-5,MA-8U-5,MA-12U-5
個数 lot MA-6U-5×100個~、MA-8U-5×100個~、MA-12U-5×50個~

7. プロトスキャリア用エッジガード

項目 Unit 仕様
品名   EG-475X38-400,EG-565X38-400,EG-900X44-400
個数 lot 100枚~(受注生産)

 

チップトレイ(ワッフルトレイ)、ゲルパック

シリコン、ガラス等のチップ加工品の収納・搬送に使用します。チップサイズに適したトレイを在庫販売しております。また粘着特性があるゲルパック(VRシリーズ)も一部在庫しております。真空ピンセットを使い容易にチップを取り外す事が出来ます。

1. チップトレイ(ワッフルトレイ)

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2、4
材質   ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品
規格 mm 0.4、1、2、3、5、10、15、20、25、40等
     
備考   1. 在庫品リスト(正方形・長方形多品種)あります
  2. チップトレイカバー、クリップ、チップトレイ用スペーサー(帯電・導電)も在庫しております

2. ゲルパック(真空タイプ)

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2,4
シリーズ   VR
材質   ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品
保持力   XT,XL,X4,X8
メッシュ   ♯16、♯33、♯76、♯103、♯137、♯195
静電対策   C・AS(※T静電無し)
真空治具   VHP-24(ハンドタイプ),VRS-24(自動タイプ)
個数 lot 都度相談、一部在庫有

 

その他の販売商品

  • マニュアルピンセット・真空ピンセット
  • 真空ポンプ
  • リードフレームマガジン