ダイシングフレーム・フレームシッパーケース・Tape Frame FOUP

ダイシングフレーム・フレームシッパーケース・Tape Frame FOUP

更新情報

  • 新品が不足の為6、8、12インチダイシングフレームB級品(キズ小)の在庫を増やしました※2023.12~
  • 8インチめっき無しダイシングフレームの販売を開始しました※2022.2~
  • 6、8、12インチ中古ダイシングフレームが入荷しました ※2021.1~

ダイシングフレーム(ウェハーリング・ウェハーフレーム)

5~12インチ用のダイシングフレームを在庫販売しており、めっき有・無から選択可能です。表面粗さ仕上げを改良しダイシングテープから剝がしやすくしたタイプや搬送用・1wayで使用できる廉価品もあります。各サイズご要望に応じサンプル対応を致します。6,8,12インチ用は多数のB級品があります。

主な納入実績

デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関

サイズ Unit 材質 表面処理 最大外形
(mm)
外形
(mm)
厚み
(mm)
5 inch SUS420J2 カニゼン めっき
(※めっき無しも可)
214 195 1.2
6 228 212 1.2
8 296 250 1.2
12 400 350 1.2
1.5
  lot 10枚~
             
備考   1、18インチ用も対応が可能です。各種サンプル対応致します
  2、6、8、12インチ用はキズが少ないB級品の在庫が多数あります
  3、搬送用・1wayで使用可能な安価品もあります
  4、材質を樹脂にしたタイプもあります

 

ウェハーフレームシッパー(ダイシングフレームケース、シッパーケース)

枚葉タイプ

縦置きタイプ

ダイシング加工品の保管・出荷用フレームシッパーケースを在庫しており枚葉タイプ・縦置きタイプ共に少量より販売可能です。縦置きタイプは洗浄済み(クラス100レベル)となり各サイズ貸出用サンプルがあります。

更新情報

  • 12インチTape Fram FOUP 高クリーンタイプの扱いを開始しました※2023.6~
  • フレームシッパーケースのリサイクル洗浄(クラス100レベル)を開始しました。※2023.1~
  • 6、12インチフレームシッパーケース縦置きESDタイプの在庫を開始しました。2個lot~※2023.1~
  • 8インチフレームシッパーケース縦置きESDタイプの在庫を開始しました※2022.3~

枚葉タイプ

サイズ Unit 材質 仕様
6 inch PS
PP
248x248x21(H)mm
8 PS
PP
312x312x22(H)mm
12 PS 422x422x22(H)mm
  lot 5個~

縦置きタイプ

サイズ Unit 材質 収納数 仕様
6 inch PP(ESD) 25 229(L) x 248(W) x 255(H)mm
8 PP
PP(ESD)
25 291(L) x 226(W) x 308.5(H)mm
12 PP(ESD) 13 397.5(L) x 227.5(W) x 416.3(H)mm
  lot     2個~
備考   1、縦置きタイプは各サイズ貸出用サンプルがあります
  2、枚葉タイプはグリップリングの収納が可能なものもあります

 

Tape Frame FOUP(FOUPフレームカセット)

ダイシングフレーム(Tape Frame)にセットされたウェハーの工程間搬送に用いるSEMI規格に準じたFOUP(密閉型容器)となります。AMHSに対応しており衝撃に強く耐摩耗性に優れています。気密性(パッキン付)・耐摩耗性を重視した高クリーンタイプもございます。N2パージ有・無から選択可能です。

サイズ Unit 材質 収納数 仕様
8 inch PC+CNT 13 382(L) x 392(W) x 196(H)mm
12 PC+CNT 13 387(L) x 392(W) x 196(H)mm
  lot     8インチ・・・1個~
    12インチ・・・1個~

 

ダイシングカセット(ウェハーフレームカセット)

  • 黒アルマイト処理

  • アルマイト処理無し

ダイシング工程の搬送用フレームカセットを扱っておりアルマイト処理を不要にした廉価品もあります。

更新情報

  • アルマイト処理無し品、12インチ25枚用の扱いを開始しました※2021.8~
サイズ Unit 材質 表面処理 収納数 仕様
5 inch アルミ 黒アルマイト
(※処理無しも可)
25 203(W)×198(D)×143(H)mm
6 25 222(W)×212(D)×143(H)mm
8 25 288(W)×276(D)×188.8(H)mm
12 13 390(W)×386(D)×182(H)mm
  lot 2個~