更新情報
- 150mm、200mm、300mmタイプの中古品販売・レンタル対応が可能となりました。
- 両面照射タイプ､インターロック機能、加熱機構(300℃)などカスタムに対応します。
- 100mm角エキシマ処理装置、150mm角プラズマ処理装置の販売を開始致しました。
UVオゾン洗浄装置
UVランプ(オゾンランプ)によりガラス基板やシリコンウェハー等の表面改質･乾式洗浄により有機物を除去し密着性・接着性・濡れ性の効果を上昇します。標準サイズ150mm、200mm、300mm以外にもワークサイズに合わせてコンベアータイプ等の設計可能です。光源部ユニットのみの販売も対応可能です。
主な納入実績
材料各メーカー、半導体材料・デバイスメーカー、技術研究所、大学研究室、行政機関等
洗浄効果・改質効果
紫外線洗浄はウェット洗浄より格段に高い洗浄効果が あります。純水洗浄前にUV洗浄を加える事に有機化合物等の汚濁物質を除去します。 ぬれ試薬を綿棒などで試験体表面に塗り、試薬液の広がり具合で親水性を評価する事で確認が可能です。
主な用途
- フォトレジストUVアッシング
- 半導体チップワイヤーボンディング、めっき、成膜・蒸着前、フィルム材料、自動車部品等の前洗浄処理
- 各種材料への接着、塗料コーティング材との密着力向上
UV洗浄前
洗浄後(表面張力72dyn/cm)-
UV洗浄後
-
UV処理前
-
洗浄後(接触角4°)
※参考
| 処理条件 | 接触角(°) |
|---|---|
| 無処理 | 39 |
| 洗剤→市水→純水 | 17 |
| 洗剤→市水→IPA | 13 |
| 洗剤→市水→UVオゾン | 4 |
ラインナップ
| 項目 | 仕様 | |||
|---|---|---|---|---|
| 照射装置 | サイズ | 150mm | 200mm | 300mm |
| 寸法(mm) | 300×290×310H | 370×300×305H | 550×550×420H | |
| 重量(kg) | 10 | 30 | 50 | |
| ランプ型名 | SUV110GS-36L SUV110GS-34 SUV110GL-36L |
EUV200GS-14L | EUV200WS-60L | |
| ランプ数 (本) | 1 | 1 | 3 | |
| 照射距離(mm) | 0～80 | 0～80 | 5～150 | |
| UV 照度(mW/cm²) ※at 30mm |
15 | 15 | 16 | |
| ブロアー | φ75×2.5m | φ75×2.5m | φ75×5m | |
| 電源 | 寸法(mm) | 160×665×150H | 200×700×150H | 360×550×350H |
| 重量(kg) | 12 | 20 | 40 | |
| 入力電源(V) 消費電力(W) |
AC100 250 |
AC100 320 |
AC100 910 |
|
| 備考 | オプション | インターロック、ステージ加熱仕様、オゾン分解装置 | ||
| 中古・レンタル | 〇 | 〇 | △ | |
交換ランプ
UVオゾン洗浄装置用交換ランプのみの販売も可能です。ランプ寿命はおおよそ7,000～8,000時間となります。
ラインナップ
| W数 | 型式 |
|---|---|
| 40W | SUV40DH-26、SUV40US-32 |
| 90W | SUV90UH-43、SUV90UH-52 SUV90US-43、SUV90US-48 SUV90US-59、 SUV90US-61 SUV90US-88、 SUV90US-93L |
| 110W | SUV110GS-34L、SUV110GS-36L SUV110GL-36L、SUV110WS-55 SUV-110US-53、SUV-110US-68 SUV-110UH-53、SUV110UH-BO |
| 200W | EUV200GS-14L、EUV200GS-51 EUV200NS-40、 EUV200WS-19 EUV200WS-44、EUV200WS-60L EUV200US-43、EUV200US-77 |
特注品
特注品製作の一例
- 150x150mm300°対応ワークトレイ
- 200x200mmトレイ付き
- 350x300mm用コンベアータイプ
- 450x450mm用バッチタイプ
- 550x400mm用バッチタイプ
- 600x600mm用トレイ付きコンベアータイプ
- エキシマ処理装置