更新情報
- 3インチ枚葉ケースの在庫を開始しました※2024.3～
- 2、4インチ枚葉、3インチ縦置きの在庫を開始しました※2022.4～
- 6、8インチ枚葉品の在庫を開始しました※2022.3～
- 6、8、12インチウェハーキャリア(材質PP、PEEK、PFA）13枚タイプ、バックサポートタイプの販売を開始しました※2021.4～
- 6インチ(MW150N)、8インチ(MW200N)洗浄品用通い箱の販売を開始しました※2020.9～
- 3インチ縦置き25枚用新品ウェハーケース、6,8,12インチ縦置き25枚用中古洗浄済み品が多数あります※2020.3～
- 角型(76mm角、100mm角、150mm角、200mm角)1枚用も対応可能となりました
洗浄ウェハーケース、ウェハーキャリア
シリコンウェハー、ガラスウェハー、SiC、GaAs他化合物ウェハーの搬送用ケースを在庫販売しており枚葉、縦置き(出荷用・工程用)、平置き(プロトスキャリア)から選択可能です。枚葉、縦置きは洗浄対応(クラス100レベル二重梱包)もしております。
主な納入実績
デバイス、アッセンブリー、半導体製造装置、半導体材料各メーカー、大学研究室、行政機関
1. 枚葉(シングルウェハーシッパー)タイプ
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| サイズ |
inch |
2、3、4、6、8、12 |
| 個数 |
lot |
1個～ |
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| 備考 |
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2. 縦置き(25枚用ウェハーケース)タイプ
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| サイズ |
inch |
2～12(※12インチはFOUP対応可能) |
| 個数 |
lot |
1個～ |
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| 備考 |
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3. ウェハーキャリアタイプ
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| サイズ |
inch |
6～12 |
| 材質 |
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PP、PEI、PEEK、PFA |
| 個数 |
lot |
2個～(※材質によって異なります) |
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| 備考 |
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4. 平置き(プロトスキャリア)タイプ
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| 品名 |
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MA-6S、MA-8S、MA-12、ND-6、ND-8、ND-12 |
| 個数 |
lot |
1個～(※ND-6～12は10個～) |
5. プロトスキャリア用スペーサーシート
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| 品名 |
|
CPS-6-250,CPS-8-250,CPS-12-250 |
| 個数 |
lot |
100枚～ |
6. プロトスキャリア用クッション材
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| 品名 |
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MA-8U-5,MA-12U-5 |
| 個数 |
lot |
MA-8U-5×100個～、MA-12U-5×50個～ |
7. プロトスキャリア用エッジガード
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| 品名 |
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EG-475X38-400,EG-584X38-400,EG-900X44-400 |
| 個数 |
lot |
100枚～(受注生産) |
チップトレイ(ワッフルトレイ)、ゲルパック
シリコン、ガラス等のチップ加工品の収納・搬送に使用します。チップサイズに適したトレイを在庫販売しております。また粘着特性があるゲルパック(VRシリーズ)も一部在庫しております。真空ピンセットを使い容易にチップを取り外す事が出来ます。
1. チップトレイ(ワッフルトレイ)
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| サイズ |
inch |
2、4 |
| 材質 |
|
ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品 |
| 規格 |
mm |
0.4、1、2、3、5、10、15、20、25、40等 |
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| 備考 |
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2. ゲルパック(真空タイプ)
| 項目 |
Unit |
仕様 |
| サイズ |
inch |
2,4 |
| シリーズ |
|
VR |
| 材質 |
|
ABS、ポリカーボネート、帯電品、導電品 |
| 保持力 |
|
XT,XL,X4,X8 |
| メッシュ |
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♯16、♯33、♯76、♯103、♯137、♯195 |
| 静電対策 |
|
C・AS(※T静電無し) |
| 真空治具 |
|
VHP-24(ハンドタイプ),VRS-24(自動タイプ) |
| 個数 |
lot |
都度相談、一部在庫有 |
その他の販売商品
- マニュアルピンセット・真空ピンセット
- 真空ポンプ
- リードフレームマガジン
